潔凈室室內(nèi)靜壓差的測試程序

1、準(zhǔn)備程序

儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器，可以選擇微壓計(jì)、數(shù)字微壓計(jì)等，在環(huán)境溫度常溫或潔凈室設(shè)計(jì)溫度下進(jìn)行壓差檢測。

2、靜壓差檢測區(qū)域

抽樣對有設(shè)計(jì)要求的各個相鄰區(qū)域，不同等級潔凈區(qū)或潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)，實(shí)施檢測。

3、靜壓差檢測結(jié)果規(guī)定

（1）一般情況下，相鄰不同級別潔凈室之間、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa。

（2）潔凈室室內(nèi)與室外大氣的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

（3）潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室，在開門狀態(tài)下在出入口處室內(nèi)側(cè)0.6m處，不應(yīng)測出超過室內(nèi)級別上限的濃度。

4、操作程序及判定

（1）將所有的門關(guān)閉，將測定用膠管口徑最好在5mm以下，從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)離壁面不遠(yuǎn)處，垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動最小。

（2）靜壓差的測定，應(yīng)從平面上最里面的房間，通常也就是潔凈度級別最高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起，依次向外測定，直至測得最靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。

（3）對于潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。

5、檢測時的注意事項(xiàng)

在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測之前，必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時，應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下，潔凈室室內(nèi)送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定設(shè)計(jì)風(fēng)量相符。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求，則重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至符合設(shè)計(jì)要求為止。