潔凈度等級要求高, 風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚,因為過于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。
一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。
4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
(1)補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
5、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應設置新風,超溫斷電保護,若采用點加濕時應設置無水保護,寒冷地區(qū),新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。
6、無塵室的送風量,應取下面三項最大值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量;根據(jù)熱,濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量;向電子制造廠潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量。
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